スパッタリングターゲット材の物理特性(参考値)
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1064 | 19.32 | 99.99以上 |
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962 | 10.50 | 99.99以上 |
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1769 | 21.45 | 99.95以上 |
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1552 | 12.02 | 99.95以上 |
合金タイプは別途ご相談ください。
スパッタリングターゲット寸法実績例 ※
丸板
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| 50 | 440 | 1 | 8 |
角板
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| 5×75 | 250×430 | 1 | 17 |
※材質・形状によって作製可能な寸法が異なりますので、ご相談ください。
その他詳細につきましてはお問い合わせください。
